乐发lv

真空泵与真空系统设计制造商

SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪

德国原装分子泵，干式真空泵，双铱带离子源

乐发lv独特的气路设计，较低的颗粒物干扰

自保护功能，防止本底被污染

乐发lv自动抽空压力和时间设定，检漏效率高

乐发lv移动式推车，较低的移动噪音

带故障提示和报警功能

可选无线遥控功能


产品介绍

技术指标单位SFJ-231D型
最小可检漏率（真空模式）Pa·m3/s5×10-13
最小可检漏率（吸枪模式）Pa·m3/s1×10-8
检漏口压力Pa1500/200/40
粗抽能力m3/h10
检漏口规格"DN25 ISO-KF
启动时间min≤2
接口"RS-232/485 USB*2
输入/输出接口"数字和模拟I/O，继电器
尺寸mm645*678*965
重量kg75
电压V220±10%,50Hz
最大功率W1000
语言"中文、英文
温度℃10-40

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