就镀膜工艺而言,真空技术的应用体现在哪些方面?
在许多镀膜工艺中(例如:金属、塑料或玻璃以蒸汽形态沉积),真空技术扮演着决定性的作用。在很多情况下,离开真空,就无法实现这些工艺。一般在工艺开始之初,对腔室施加中度或高度真空,以便真空排气,再抽除反应气体或者气化固体原材料。
这些镀膜工艺都有一个共同的要求:腔室必须保持完全符合镀膜工艺要求的中度或高度真空。这些镀膜工艺有助于改变材料的表面特征,例如硬度或耐腐蚀性。此外,真空镀膜也可以改善材料的附着性或湿润性,或者让材料表面保持最大疏水性或亲水性。
好凯德真空泵的哪些真空解决方案尤其适合镀膜工艺?
我们提供大量不同的镀膜工艺真空解决方案,除了独立式真空泵,也供应全套真空系统。C单级旋片真空泵特别适用于镀膜工艺,实践证明,好凯德旋片真空泵乐发lv结合罗茨真空泵是中度真空镀膜应用的标准解决方案。雅之雷德还可提供各种型号的变距螺杆真空泵和罗茨真空泵,使真空系统的设计完全达到镀膜工艺的要求。如果需要高度真空,我们有涡轮分子真空泵和扩散真空泵,将这类泵与前级泵组合即可满足镀膜工艺要求。
雅之雷德机电在镀膜工艺中的应用范例:
物理气相沉积(PVD)
化学气相沉积(CVD )
等离子增强沉积
金属镀膜
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